一种集成电路芯片制造用压膜装置

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一种集成电路芯片制造用压膜装置
申请号:CN202410930205
申请日期:2024-07-11
公开号:CN118866785B
公开日期:2025-03-28
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种集成电路芯片制造用压膜装置,具体涉及压膜装置技术领域,包括箱体底座,所述箱体底座后端固定安装有液压阀,所述箱体底座左右两侧均设有用于对芯片进行压膜的压膜机构,所述箱体底座上侧设有用于运输芯片的运输机构,所述箱体底座上侧中部设有用于翻转芯片的翻转机构。本发明所述的一种集成电路芯片制造用压膜装置,能够运输并翻转芯片,使装置能够在芯片运输的过程中,对两个面进行压膜处理,通过设置的多组翻转杆可以让芯片保持一段时间悬空,让压膜后的芯片得到缓冲,既能够保证装置的压膜效果,同时也有效的提升了装置的加工效率,芯片在悬空时会接触斜面以及橡胶环,保证其不会出现磨损以及掉落的情况。
技术关键词
箱体底座 集成电路芯片 翻转芯片 液压阀 运输机构 运输辊 翻转机构 内腔 壳体 压膜装置 接触斜面 压膜机构 传送带 凸轮 驱动组件 齿轮 矩形 输出端
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