具有基座振动补偿功能的电涡流式位移测试装置及方法

一种具有基座振动补偿功能的电涡流式位移测试装置及方法，它包括电涡流传感器主体组件和安装台面组件，电涡流传感器主体组件包括电子仓壳体、电涡流探头、加速度传感器芯片和线路板，电涡流探头固定安装在电子仓壳体上，加速度传感器芯片安装在线路板上，线路板安装在电子仓壳体上，加速度传感器芯片还与电子仓壳体进行固定连接，且连接方式为刚性胶粘接，实现电涡流探头、线路板、加速度传感器芯片、电子仓壳体形成连接稳定可靠的整体。根据三个正交方向上的灵敏度系数校正曲线分别测试后进行补偿，实现了电涡流式位移测试系统的基座振动补偿功能；实现检测并补偿由基座振动带来的误差从而提高测量精度。