摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,且公开了一种基于三维堆叠的芯片封装结构及封装方法,包括工作台,工作台的顶部一侧固定连接有若干个六角柱,六角柱的顶部固定连接有顶台,工作台的底部四周分别固定连接有若干个桌脚,将基板放置到承载柔性板的上方,同时将芯片放置到吸力孔板器的底部进行吸附,启动正反电机,正反电机带动螺纹柱进行转动,螺纹柱转动过程中带动圆壳进行下降,圆壳带动滤孔板进行下降,滤孔板下落过程中对吸力孔板器进行下压,吸力孔板器带动芯片进行下降,使得两个芯片进行对接,且通过正反电机的转动,吸力孔板器对芯片进行加压,防止芯片之间的环氧树脂产生气泡,加强了芯片之间的连接效果,提高了堆叠芯片的成品质量。
技术关键词
芯片封装结构
螺纹柱
堆叠芯片
移动板
工作台
环形加热器
吸力
挤压簧
封装方法
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升降板
柔性板
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