一种机械手臂及芯片抓取方法

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一种机械手臂及芯片抓取方法
申请号:CN202410937102
申请日期:2024-07-12
公开号:CN118700201A
公开日期:2024-09-27
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供的一种机械手臂及芯片抓取方法,属于半导体设备领域。该机械手臂包括抓手;气流通道,所述气流通道设于所述抓手内;多个吸嘴,多个所述吸嘴阵列设置在所述抓手上,且每一所述吸嘴均与所述气流通道联通;多个阀门,多个所述阀门逐一安装在所述吸嘴与所述气流通道之间,用于控制所述气流通道的气流是否流向所述吸嘴;其中,所述吸嘴用于在对应的所述阀门处于关闭状态时抓取待拾取的LED芯片,且在部分所述阀门处于开启状态下对应的所述吸嘴向非拾取的LED芯片产生推力,以实现对LED芯片的选择性抓取。另外,在选择转移过程中,气流形成的向外推力以及吸嘴对芯片形成的吸力,可以精准转移芯片,提升良率。
技术关键词
机械手臂 气流 阀门 抓取方法 吸嘴阵列 通道 推力 半导体设备 芯片组件 LED芯片 流道 橡胶材料 基板 良率 吸力 排气
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