摘要
本申请实施例提供的一种机械手臂及芯片抓取方法,属于半导体设备领域。该机械手臂包括抓手;气流通道,所述气流通道设于所述抓手内;多个吸嘴,多个所述吸嘴阵列设置在所述抓手上,且每一所述吸嘴均与所述气流通道联通;多个阀门,多个所述阀门逐一安装在所述吸嘴与所述气流通道之间,用于控制所述气流通道的气流是否流向所述吸嘴;其中,所述吸嘴用于在对应的所述阀门处于关闭状态时抓取待拾取的LED芯片,且在部分所述阀门处于开启状态下对应的所述吸嘴向非拾取的LED芯片产生推力,以实现对LED芯片的选择性抓取。另外,在选择转移过程中,气流形成的向外推力以及吸嘴对芯片形成的吸力,可以精准转移芯片,提升良率。
技术关键词
机械手臂
气流
阀门
抓取方法
吸嘴阵列
通道
推力
半导体设备
芯片组件
LED芯片
流道
橡胶材料
基板
良率
吸力
排气
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