一种基于光学测量的透明基材表面粗糙度检测方法

本发明提供一种基于光学测量的透明基材表面粗糙度检测方法,属于光学检测技术领域；清洁透明基材表面，当透明基材表面符合检测标准时，根据预设精度和测量范围，确定检测装置并配置测量系统；基于测量系统测量透明基材表面的预设区域，利用激光器产生的单色光源对所述预设区域进行干涉测量，获取透明基材表面的初始信号数据；对初始信号数据进行预处理和标准化，得到干涉信号数据，分析干涉信号数据的信号特征，利用粗糙度还原模型还原透明基材表面的预设区域的表面粗糙度参数；将表面粗糙度参数和实际粗糙度参数对比，根据偏差程度对测量系统进行设备调整。提高了光学测量的精度，提高了快速识别微小器材表面粗糙度检测的效率。