一种pH传感器、pH传感器的制备方法和pH测量方法

本发明提供了一种pH传感器、pH传感器的制备方法和pH测量方法，可以应用于传感器技术领域。该pH传感器包括：芯片衬底；位于芯片衬底上表面的石墨烯基场效应管，其中，石墨烯基场效应管包括源极、漏极、栅极和沟道区，石墨烯基场效应管以石墨烯作为沟道区的材料，石墨烯的上表面覆盖有交联的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜，源极、漏极和栅极分别与位于芯片边缘的电极板电连接；绝缘层，覆盖在位于芯片衬底上表面上除沟道区、栅极和电极板以外的区域。该pH传感器实现了在高离子浓度环境中对pH的高灵敏度和高响应的检测。在环境中离子浓度发生变化的情况下，该pH传感器依然能够保持响应方向和灵敏度的一致，即在环境变化的情况下，保证了测量pH的稳定性。