适用于光刻机的全自动样片上下料系统和方法

本申请提供了一种适用于光刻机的全自动样片上下料系统和方法，系统包括：基座，包括柜体和位于柜体上的承载平台；一个或多个样片暂存装置，位于承载平台上，样片暂存装置包括一个或多个样片固定托，每个样片固定托用于承托待处理样片；以及样片传送装置，位于承载平台上，样片传送装置包括可延伸的机械臂以及位于机械臂端部的样片夹具，样片传送装置配置为在通过样片夹具夹取待处理样片后通过机械臂使待处理样片在样片暂存装置和光刻机之间移动。本申请的适用于光刻机的全自动样片上下料系统和方法，具有低成本、且精度高的优势。