一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质

本发明公开了一种晶圆识别定位方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：获取对目标晶圆进行拍摄得到的目标图像，根据目标图像建立目标坐标系；根据目标图像识别目标晶圆的尺寸信息，若识别成功则提取目标晶圆的缺口形状特征；确定目标晶圆的目标位置，并根据缺口形状特征确定目标晶圆的目标姿态。本发明公开的晶圆识别定位方法，通过视觉识别的方法，可以提取晶圆的关键特征，进而对晶圆的位置和姿态进行调整，可以适用于多种类型的晶圆，解决了传统光刻机只能单一识别特定类型晶圆的问题。