摘要
本说明书实施例提供一种芯片老化测试装置,包括箱体,箱体内设置有多层老化板,老化板上安装有待测试芯片;导流机构形成多个导流通道,多个导流通道出端开口分别与多层老化板相对应;多个风速调节机构分别位于多层老化板的上方,风速调节机构包括调节板,调节板靠近老化板的一侧形成多个风速调节区域,沿着远离导流机构的方向,风速调节区域与老化板之间的距离减小;风机与多个导流通道的入端开口相对应,散热机构设置于待测试芯片下方。通过风速调节机构对老化板上方的风速进行调节,使得距离导流机构越远处的风速越大,保证对距离导流机构较远处的芯片的散热效果,减小芯片的温差,确保芯片在水平方向上不同位置能够有好的温度均匀性。
技术关键词
芯片老化测试装置
风速调节机构
导流机构
老化板
散热机构
降温机构
水冷机构
通道
水冷板
风机
导流板
蒸发器
箱体
液体
风量
温差
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