压力自适应控制方法、装置及相关设备

本发明公开了一种压力自适应控制方法、装置及相关设备，涉及真空压力控制领域，其中压力自适应控制方法包括：检测腔体内的实际压力，并根据预设压力与实际压力之差计算压力偏差；根据上一时刻的控制信号、神经元比例系数以及当前时刻各个节点输出及对应的当前时刻的权值系数计算生成当前时刻的控制信号；根据当前时刻的控制信号调节电机以调节连接腔体的管道上的蝶阀的开度，从而调节腔体压力。本申请的压力自适应控制方法能解决PID控制算法在应用于高非线性和高时变性的真空蝶阀腔体压力控制系统时，难以达到理想的控制效果的问题，从而能达到迅速且准确地将腔体压力调节至预设压力的效果。