用于新能源热管理芯片生产过程中的保护设备

本发明公开了一种用于新能源热管理芯片生产过程中的保护设备，它包括炉体，炉体本身连接冷却压缩机；炉体通过阀门与真空泵相连，炉体通过氮气充气阀连接有氮气罐；炉体上还设有通电线路，通电线路一方面连接炉体外侧的输电装置获取电能，另一方面连接炉体内的石墨棒令其加热，所述石墨棒布置于炉体的内壁；炉体的外壁和内壁均设置有热电偶作为温度传感器，炉体上端内壁还设有氧传感器和真空传感器，炉体内壁各温区设置至少一个耐高温摄像机；各传感器、耐高温摄像机的信号输出端连接炉体外部的PLC一体机。本发明目的在于高效除去芯片中的吸附氧，提高芯片的耐压寿命、质量可靠性，同时通过智能化控制、简化工艺操作路线，从而节约成本。