一种晶圆AOI检测方法及系统

本发明提供了一种晶圆AOI检测方法及系统，该方法包括：获取晶圆图像；将晶圆图像划分为若干个子区域并基于欧式距离算法计算每个子区域内裸片的色差距离和；获取每个子区域的灰度量；基于每个子区域的灰度量对晶圆图像重新划分，获取若干个连续的图像范围；在每个图像范围中，确定一裸片作为检测对象并计算该裸片与相邻裸片的灰度差值，获取该裸片的缺陷信息，进而获取每个图像范围中所有裸片的缺陷信息，得到每个图像范围的缺陷信息。本发明提供的一种晶圆AOI检测方法，巧妙地采用灰度量代替现有的直接采用灰度值进行缺陷判断的方式，可以有效地剥离工艺导致的色差对检测产生的影响，提高对晶圆色差的宽容度，提升晶圆缺陷的有效检出率。