一种用于植球的晶圆载具及方法

本发明提供一种用于植球的晶圆载具及方法，晶圆载具包括植球治具、翻转治具和固定治具，植球治具和翻转治具用于装载待植球晶圆，固定治具用于将待植球晶圆固定在焊线机上。在利用本发明提供的晶圆载具进行植球时，先将晶圆切割成半圆形的待植球晶圆，再将待植球晶圆装载在晶圆载具中进行植球，一方面，避免了整片晶圆在拿取过程中容易出现的破片的问题，提高了工艺的稳定性和可靠性；另一方面，植球完成后再将其切割成多个单粒芯片，解决了单个芯片植球过程中无法吸住芯片的问题，确保了芯片在植球过程中的安全性。