一种膜厚分析方法

本发明提供一种膜厚分析方法，根据待测样品的测量光强，计算待测样品的测量反射率；将测量反射率到仿真光谱库中与理论反射率匹配；获取最小方差对应的理论反射率，将对应的每一层薄膜厚度值作为待测样品的膜厚初值；基于LM非线性回归算法对待测样品的膜厚初值进行迭代优化，求解待测样品的最优膜厚值；计算测量反射率与理论反射率之间的相关性；若相关性小于设定阈值，则对测量反射率去趋势处理，重新到仿真光谱库中进行匹配，得到膜厚值。本发明方法通过结合光谱仪测量数据和仿真计算，能够高效、准确地模拟多层薄膜系统的光学反射特性，并与实测数据进行匹配，提供精确的材料和结构信息，为现代光学和材料科学领域提供了重要的技术支持。