改进的一种提高光刻机分辨率的方法

改进的一种提高光刻机分辨率的方法，本发明将光存储单元置于物镜和晶圆之间，曝光时，信号光经过透镜系统后，在光存储单元以原子自旋波的形式临时保存，光的能量转化为光存储单元介质原子的能量，随后所存储的光信息会按照原来的方向释放出来，可以视为1个理想的点光源，这个点光源按照原来的方向传播，由于传播的路径没有透镜孔径限制，有效孔径变大，对应的艾里斑变小，最小可分辨尺寸就会降低，当这个点光源达到晶圆时，艾里斑宽度变窄，光刻机的分辨率得到大幅提升，这样的益处在于对光刻机的孔径要求可以降低，为了实现同样的分辨率要求，透镜成像系统可以采用小的孔径，这无形中降低了制造的难度和成本。