一种基于视觉显微编码的定位检测系统和方法

本发明提供了一种基于视觉显微编码的定位检测系统，包括：工作台、载物台、压电柔性微动平台、XY两个方向的粘滑跨尺度驱动直线电机、XY两个方向的视觉定位码标、四对滑动导轨、光滑工作面、两个龙门支架、两个视觉定位相机。本发明实现了跨尺度的全向精密定位；系统结构紧凑，并集成了旋转自由度，可以实现多自由度运动定位。结合压电原理产生宏‑微‑纳跨尺度精密运动。另外，本发明提出基于微编码靶标的平面位移显微视觉测量方法，建立微编码靶标模型并开发编码图像解码算法，采用编码目标跟踪方法实现微装配运动平台纳米级精度位移检测。