摘要
本实用新型属于半导体粘片设备技术领域,具体公开了一种移动搬运芯片机构,包括:支撑座,所述支撑座上安装有能够在X轴方向水平移动的X轴移动机构;安装在X轴移动机构上并进行Y轴方向水平移动的Y轴移动机构,所述Y轴移动机构上安装有能够进行Z轴方向移动的Z轴移动机构,本实用新型通过X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构与吸取机构的配合,能够使吸取机构从X轴方向、Y轴方向和Z轴方向进行精准移位,且利用LVDT位移传感器能够精准识别吸头的位置,从而使吸取机构能够快速识别芯片所在的位置,以便于能够在同一台设备上贴合两种不同种类芯片的需求,提高IGBT单管封装粘片的工作效率,提高产品品质。
技术关键词
吸取机构
LVDT位移传感器
Y轴移动机构
气体过滤器
Z轴移动机构
X轴移动机构
直线电机
移动板
支撑立柱
气体开关
识别芯片
IGBT单管
气体流量传感器
粘片设备
感应器
基板
支撑座
音圈电机
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Y轴移动机构
X轴移动机构
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