摘要
本发明提供一种改善MOM区域金属bridge的结构,该结构包括至少1个图案化金属层,图案化金属层的每个侧壁分别独立地设置有至少1个凹槽结构。该结构可以有效增强金属底部蚀刻能力,降低金属桥接的风险,有效避免芯片失效的问题。
技术关键词
图案化金属层
凹槽结构
氮化钛
开口面积
介质
间距
蚀刻
芯片
风险
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卷积稀疏编码
图像去模糊方法
稀疏编码算法
训练集
分辨率
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时间段
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待测接口
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接口测试方法
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字段
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样本
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特征提取网络
标签方式