一种柔性太阳能电池及其制作方法

本发明提供了一种柔性太阳能电池及其制作方法，通过在所述生长衬底表面倒装生长太阳能电池外延结构；接着，在所述太阳能电池外延结构背离所述生长衬底的一侧表面制作背电极；然后，在所述背电极的表面制作柔性衬底，所述柔性衬底包括对金属薄膜进行掺杂所形成的合金衬底，以提高所述金属薄膜的韧性。基于此制作方法所获得的柔性太阳能电池，通过对金属薄膜进行掺杂形成合金衬底，以增加金属薄膜的韧性，从而可支撑所述太阳能电池外延结构的压应力，使太阳电池芯片在制作过程中保持晶圆的平整度；如此，在柔性太阳能电池的制作过程中，无需临时衬底/额外的支撑衬底，无需键合与解键合相关工艺，减少了设备和物料的需求，进而有效降低所述柔性太阳能电池的生产成本。