摘要
本申请公开了邻菲罗啉衍生物的应用、含有邻菲罗啉衍生物的激光保护液及制备方法和用途,邻菲罗啉衍生物分子结构中含有大量的氮原子和不饱和键,促进了保护液形成的膜层在晶圆上金属凸起的吸附,同时分子结构中的亲水基团也可通过氢键作用进一步提升膜层对晶圆上的金属凸起的附着。本申请的一种激光保护液,以质量份计,包括如下组分:10‑20份的水溶性树脂,0.2‑1份的紫外吸收剂,0.5‑2份的附着力促进剂,2‑4份的助剂,20‑30份的有机溶剂,30‑50份的超纯水,保护液喷涂成膜后可对晶圆及表面凸块形成均匀完整的覆盖,适用于含Cu柱Sn球类型凸块晶圆的超声喷涂。
技术关键词
邻菲罗啉衍生物
附着力促进剂
水溶性树脂
保护液
紫外吸收剂
激光
邻二氮杂菲
羟基苯甲醛
超纯水
甲氧基二苯甲酮
二羟基二苯甲酮
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邻羟基苯甲酸
助剂
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