等离子切割保护液及制备方法、应用和使用方法

本申请公开了等离子切割保护液及制备方法、应用和使用方法，以质量份计，等离子切割保护液包括如下组分：10‑20份的水溶性树脂，0.3‑1份的紫外吸收剂，20‑30份的有机溶剂，0.5‑1份的缓蚀剂，2‑4份的助剂和30‑50份的超纯水。本申请以1,10‑邻二氮杂菲‑5,6‑二酮和肉桂醛为原料合成了(E)‑2‑苯乙烯基‑1H‑菲并[9,10‑d]咪唑，并将其作为小分子缓蚀剂添加至等离子切割液的配方当中，所制保护液喷涂成膜后可对晶圆及表面凸块或沟槽形成均匀完整的覆盖，且不会对晶圆表面金属造成腐蚀。