基于数据驱动的全自动去边机异常检测方法及系统

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及基于数据驱动的全自动去边机异常检测方法及系统，包括：对获取若干台全自动去边机的高速电机的时序电流数据序列进行聚类操作，得到每个时序电流数据序列中若干个种子点；获取每个时序电流数据序列上的每个种子点的离群程度，得到每个种子点的更新方向的特征值；获取每个种子点的搜索窗口的自适应权重，得到每个时序电流数据序列上的每个种子点的自适应搜索窗口大小并对每个种子点进行更新，对每个时序电流数据序列进行聚类，得到若干个更新簇；对更新簇中的所有数据进行异常检测，完成对全自动去边机的异常检测。本发明提高了全自动去边机异常检测的准确性。