一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器

本发明公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本发明采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。