一种片上波导光栅天线相位误差检测方法

本发明公开一种片上波导光栅天线相位误差检测方法，包括：对波导光栅天线近场进行放大，利用相机接收放大后的近场；通过倾斜入射的平面参考光对相机靶面照射，与波导光栅天线放大后的近场发生干涉，形成干涉图像，采集干涉图像；获取各波导光栅天线单元干涉图像的一维正弦干涉曲线，计算其周期，以及每个波导光栅天线单元干涉图像的一维正弦干涉曲线峰值间的差值，将差值除以周期再乘以波长即为各波导光栅天线单元之间相位误差的大小。根据本发明技术方案，可实现对波导光栅天线间相位误差的直接测量，弥补了现有技术中采用优化迭代算法对波导光栅天线远场进行间接相位误差检测和评估的不足。