摘要
本发明涉及切割带、切割芯片接合薄膜和半导体装置的制造方法。提供一种切割带等,其具备基材层、以及重叠于该基材层的单面的粘合剂层,前述基材层具有层叠的多个层,作为该多个层,至少具有包含乙烯‑丙烯酸共聚树脂的第一基材层和包含除前述乙烯‑丙烯酸共聚树脂之外的树脂的第二基材层,在前述第一基材层与前述粘合剂层之间配置有前述第二基材层。
技术关键词
切割芯片接合薄膜
基材
半导体装置
共聚树脂
储能模量
半导体晶圆
接合片
粘合剂层
丙烯酸
乙酸乙烯酯
半导体芯片
单面
层叠
顶点
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