晶圆探针台检测路径规划方法、装置、设备和探针台

本申请涉及一种晶圆探针台检测路径规划方法、装置、计算机设备和探针台，根据路径规划方向和针卡的工位数据，获取针卡的中心工位；从晶圆扩展图的规划起点位置，根据针卡的中心工位在晶圆扩展图的当前行/当前列进行跳列/跳行，将晶圆扩展图上针卡对应位置存在测试晶粒时，中心工位所在位置作为测试点；在跳转到晶圆扩展图的结束列/结束行时，根据针卡的中心工位在晶圆扩展图进行跳行/跳列；在跳行/跳列后新的当前行/当前列，再次根据针卡的中心工位进行跳列/跳行，将晶圆扩展图上针卡对应位置存在测试晶粒时，中心工位所在位置作为测试点，直至达到晶圆扩展图的结束行/结束列；根据获取的各测试点进行路径规划，得到晶圆测试规划路径。