一种罗茨真空泵转子优化补偿方法

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一种罗茨真空泵转子优化补偿方法
申请号:CN202411028216
申请日期:2024-07-30
公开号:CN118965986A
公开日期:2024-11-15
类型:发明专利
摘要
本发明一种罗茨真空泵转子优化补偿方法,包括如下具体步骤:对加工完成的转子坯件进行离线测量,计算加工误差及实际间隙;对实际间隙进行寻优,计算得到第一补偿间隙和第二补偿间隙,并建立优化补偿转子模型;根据优化补偿转子模型,再加工转子坯件得到满足尺寸精度和性能的转子工件;其优点在于通过对加工完成的转子坯件的实际间隙寻优,获得转子与泵体之间的第一补偿间隙和转子与转子之间的第二补偿间隙以建立优化补偿转子模型,而经过优化补偿再加工的转子工件,其尺寸的平均偏差下降了,最大偏差下降了,同时抽气性能得到了提升,也即在提高罗茨真空泵转子尺寸精度的同时实现了抽气性能的优化。
技术关键词
罗茨真空泵转子 优化补偿方法 理论 测量点 Kriging模型 坯件 GA遗传算法 三坐标测量机 模型预测值 离线 协方差矩阵 误差 尺寸 建模方法 轮廓 偏差 数学模型 工件
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