摘要
本发明提供一种倒装发光二极管芯片及其制备方法,其中倒装发光二极管芯片包括:衬底以及依次沉积在所述衬底上的N型半导体层、有源发光层、P型半导体层、电流扩展层、第一绝缘层、布拉格反射层、金属反射层、第二绝缘层、连接金属层、第三绝缘层以及焊盘层;所述连接金属层包括自下而上依次设置的反射层以及保护层,所述保护层包括自下而上依次设置的第一保护母层、第二保护母层以及第三保护母层,其中所述第二保护母层包括n个周期性层叠设置的第一保护子层以及第二保护子层;所述第一保护子层的厚度线性朝向所述第三绝缘层逐渐增大,所述第二保护子层的厚度线性朝向所述第三绝缘层逐渐减小。
技术关键词
倒装发光二极管芯片
布拉格反射层
金属反射层
半导体层
有源发光层
电流扩展层
线性
衬底
涂布光刻胶
通孔
周期性
层叠
电子束
台阶
导电
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