摘要
本发明公开了一种掩膜装置、显示器件及其封装方法,掩膜装置包括掩膜板主体;掩膜板主体包括位于掩膜板主体边缘位置的边缘区域和位于掩膜板主体中间位置的中间区域;中间区域包括在垂直于掩膜板主体所在平面方向固定设置的多个镂空区和凸点层;边缘区域设计有至少两个封装对位标志,封装对位标志和晶圆对位标志对应设置;镂空区的排布方式与芯片的排布方式相同,且镂空区的尺寸大于玻璃盖板的尺寸,多个镂空区构成网状的镂空开口;掩膜装置和晶圆基底贴合时,边缘区域和凸点层与晶圆基底的表面接触,网状的镂空开口的网面与晶圆基底的表面存在间隔。本发明的掩膜装置能够限制玻璃盖板的偏移位置,且掩膜装置受力均匀不易变形。
技术关键词
掩膜装置
玻璃盖板
掩膜板
显示器件
硅基半导体
封装组件
晶圆
基底
发光元件
封装方法
排布方式
电路基板
标志
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交叉点
铁镍合金
凸点
芯片
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