摘要
本公开的实施例提供一种异质芯片封装方法和结构。方法包括:提供基板、载板、预先封装的芯片单元和异质芯片;其中,异质芯片包括第一芯片和第二芯片;将基板固定设置于载板,并在基板上形成布线模块;将第一芯片和第二芯片的正面设置于基板和布线模块,使第一芯片和第二芯片固定于基板并通过布线模块相互电连接;塑封第一芯片、第二芯片和布线模块形成塑封层,并在塑封层中分别形成与基板和布线模块电连接的塑封通孔,再在塑封层背离基板的一面形成重布线层;将芯片单元堆叠设置于重布线层,使芯片单元通过塑封通孔与基板以及异质芯片相互电连接。本公开的实施例在堆叠提升芯片性能的同时,保持了对位精度和稳定性,达成了全方位的高效数据流通。
技术关键词
布线模块
芯片封装方法
异质
重布线层
基板
导电柱
通孔
芯片封装结构
载板
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正面
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