摘要
本申请提供了一种芯片封装基板及其制备方法。芯片封装基板的制备方法包括以下步骤:在基板原板内形成多个变性部,基板原板具有相背的正面和背面,各变性部自正面向背面延伸,且背面与变性部之间具有第一间距;在正面制备第一布线层,第一布线层包括第一导电部,第一导电部覆盖各变性部;从背面对基板原板进行减薄至变性部,去除变性部形成通孔;从背面制备多个导电柱及第二布线层,各导电柱填充各通孔,第二布线层形成于背面,第二布线层包括第二导电部,第二导电部经多个导电柱与第一导电部电连接。根据本申请不仅能够降低芯片封装基板的制备难度,而且还能提高芯片封装基板的可靠性。
技术关键词
芯片封装基板
种子层
布线
层暴露
蚀刻剂
正面
导电柱
通孔
电镀工艺
图案
层叠
速率
保护件
间距
外露
碱性
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