芯片封装基板及其制备方法

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芯片封装基板及其制备方法
申请号:CN202510041671
申请日期:2025-01-10
公开号:CN119480848A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种芯片封装基板及其制备方法。芯片封装基板的制备方法包括以下步骤:在基板原板内形成多个变性部,基板原板具有相背的正面和背面,各变性部自正面向背面延伸,且背面与变性部之间具有第一间距;在正面制备第一布线层,第一布线层包括第一导电部,第一导电部覆盖各变性部;从背面对基板原板进行减薄至变性部,去除变性部形成通孔;从背面制备多个导电柱及第二布线层,各导电柱填充各通孔,第二布线层形成于背面,第二布线层包括第二导电部,第二导电部经多个导电柱与第一导电部电连接。根据本申请不仅能够降低芯片封装基板的制备难度,而且还能提高芯片封装基板的可靠性。
技术关键词
芯片封装基板 种子层 布线 层暴露 蚀刻剂 正面 导电柱 通孔 电镀工艺 图案 层叠 速率 保护件 间距 外露 碱性
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