一种热处理设备

本发明提供一种热处理设备，包括：腔体，所述腔体内具有一工作区域；边缘环，所述边缘环围绕所述工作区域设置，所述边缘环用于提供磁悬浮力以驱动所述工作区域内的晶圆旋转；位置检测单元，所述位置检测单元用于检测所述晶圆的位置，并在检测到所述晶圆的位置偏离设定位置时发出报警信号；以及，防撞单元，所述防撞单元可伸缩地设置于所述边缘环，并在接收到所述报警信号时伸出所述边缘环外，以限制所述晶圆的位置。采用本发明提供的所述热处理设备对晶圆进行加工的过程中，在利用位置检测单元监测到晶圆脱离工作区域时，防撞单元伸出边缘环外阻挡晶圆与腔体内壁发生碰撞，从而可以避免晶圆与腔体内壁发生碰撞而损伤。