一种垂直光栅耦合器及光子芯片

本公开提供一种垂直光栅耦合器及光子芯片，垂直光栅耦合器包括：衬底；入射波导，设置在所述衬底上，所述入射波导具有第一端和第二端，所述第一端用于接收光波，所述第二端用于输出光波；二维光栅，设置在所述衬底上入射波导的所述第二端处，所述二维光栅包括变化弧度二维光栅和等弧度二维光栅，所述第二端输出的光波依次经过所述变化弧度二维光栅和所述等弧度二维光栅，所述光波进入所述二维光栅产生的背光反射至少部分在所述变化弧度二维光栅处改变了传播方向而在所述二维光栅边缘发散。可见，本申请提供的垂直光栅耦合器实现了抗背向反射的功能，且其结构简单、紧凑、工艺容差大。