一种基于机器视觉的无接触电致发光检测探针倾角调整装置及方法

本发明公开了一种基于机器视觉的无接触电致发光检测探针倾角调整装置及方法，其中装置包括：用于搭载检测探针的探针调整机构，探针调整机构包括控制检测探针在X轴和/或Y轴方向进行旋转的垂直旋转轴和用于控制检测探针在Z轴方向进行旋转的水平旋转轴；探针调整机构下方设置有机器视觉单元，机器视觉单元包括CCD相机、镜头以及灯源，灯源用于对检测探针进行照射，CCD相机和镜头用于采集检测探针底面的图像，镜头与待检测Micro‑LED芯片平行；探针调整机构和机器视觉单元分别与控制单元进行连接；控制单元用于对采集的图像进行图像处理并生成角度调整指令控制探针调整机构对检测探针进行调整。本发明提高了探针调整的精度和效率，减少人工操作的误差。