一种面向深海的MEMS水听器封装结构

本发明涉及一种面向深海的MEMS水听器封装结构，其包括封装外壳和单向阀，封装外壳的内部具有安装腔和释压腔，且还具有连通安装腔和释压腔的通孔，安装腔内填充有绝缘的液态介质，释压腔内填充有气态介质，单向阀安装于通孔中，当安装腔内压力大于释压腔内压力时，安装腔中的液态介质经由单向阀流入至释压腔中；将MEMS水听器安装至封装外壳的安装腔中，在应用于深海高压环境中，施加给封装外壳的作用力较大，由于液态介质不可压缩的特性，安装腔内的压力大于释压腔内的压力，在单向阀的作用下，安装腔中的液态介质自动流入至释压腔中，从而减小安装腔内的压力，完成MEMS水听器上多余静应力的释放，该封装结构提高了压电薄膜式MEMS水听器的耐压性。