摘要
本发明提供了一种2.5D封装结构的制备方法和2.5D封装结构,涉及芯片封装技术领域。该方法先在载体上形成第一组合布线层,然后在第一组合布线层上形成承载金属层,形成第二组合布线层,再将承载金属层与第一组合布线层剥离,再在第一组合布线层和第二组合布线层上分别完成贴芯片、塑封的动作,最后去除载体和承载金属层,并完成植球后切割。相较于现有技术,本发明利用承载金属层作为支撑层,从而起到对第一组合布线层和第二组合布线层的结构支撑作用,防止布线层结构受热应力变形,并能够防止多层介质层发生坍陷。同时承载金属层作为阻挡层,能够避免在上层布线动作时化学药剂腐蚀底层的介质层结构,避免了上下层布线相互影响。
技术关键词
封装结构
导电环
封装芯片
基底
载体
叠层介质层
焊盘
布线层结构
介质层结构
锡球
芯片封装技术
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静电
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