摘要
本发明公开一种应用了仿生复眼结构的深紫外LED芯片出光结构及制备方法,方法包括在深紫外LED芯片的出光面表面涂覆一层纳米压印胶,以在所述出光面表面形成涂胶面;将仿生复眼模板压印在所述涂胶面上,待固化后剥离所述仿生复眼模板,以在深紫外LED芯片的出光面制备形成仿生复眼结构阵列。本发明实施例还公开了该仿生复眼模板的结构及其制备方法。本发明的方案能够有效提高深紫外LED芯片的光提取效率和使用寿命,且制作工艺简单,工艺成本低,适于大规模生产制造。
技术关键词
仿生复眼结构
高光提取效率
深紫外LED芯片
微米孔
模板
飞秒激光刻蚀
透镜单元
阵列
纳米压印胶
蜂窝结构
凸面
涂胶
出光结构
基板
离子束
涂覆
系统为您推荐了相关专利信息
个性化语音特征
大语言模型
语义识别方法
训练集数据
语义识别装置
系统运行状态信息
资源调用方法
课件内容
数据
溯源信息
多智能体协作
反馈规则
协作博弈
标准化模板
指令