摘要
本发明提供一种光学传感器及电子设备,属于传感器技术领域,光学传感器包括底板、外壳、MEMS芯片和上光学模块,外壳罩设于底板形成有容纳腔,底板上形成有入声孔,MEMS芯片安装于底板,MEMS芯片包括衬底和间隔设置于衬底的敏感膜和上背极板,敏感膜设置于上背极板面向入声孔的一侧;上背极板形成有上光栅,敏感膜面向上光栅的一侧设置有上反射层,上光学模块包括上光源和上光电探测器,上光源发出的光线经过上光栅入射至上反射层,上光电探测器用于接收被上反射层反射的光线。本发明能够减少外界光线的干扰,具有检测准确度高和制作难度低的优点。
技术关键词
光学传感器
MEMS芯片
光电探测器
光学模块
上光源
光栅
光学麦克风
底板
电子设备
ASIC芯片
电路
衬底
外壳
顶板
传感器技术
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