光学传感器及电子设备

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光学传感器及电子设备
申请号:CN202411066001
申请日期:2024-08-05
公开号:CN119012100A
公开日期:2024-11-22
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种光学传感器及电子设备,属于传感器技术领域,光学传感器包括底板、外壳、MEMS芯片和上光学模块,外壳罩设于底板形成有容纳腔,底板上形成有入声孔,MEMS芯片安装于底板,MEMS芯片包括衬底和间隔设置于衬底的敏感膜和上背极板,敏感膜设置于上背极板面向入声孔的一侧;上背极板形成有上光栅,敏感膜面向上光栅的一侧设置有上反射层,上光学模块包括上光源和上光电探测器,上光源发出的光线经过上光栅入射至上反射层,上光电探测器用于接收被上反射层反射的光线。本发明能够减少外界光线的干扰,具有检测准确度高和制作难度低的优点。
技术关键词
光学传感器 MEMS芯片 光电探测器 光学模块 上光源 光栅 光学麦克风 底板 电子设备 ASIC芯片 电路 衬底 外壳 顶板 传感器技术 基底 侧围板 通讯 光斑 涂层
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