一种阶梯式透明柔性集成电路基板的厚度均匀性检测方法

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一种阶梯式透明柔性集成电路基板的厚度均匀性检测方法
申请号:CN202411066786
申请日期:2024-08-06
公开号:CN118588579B
公开日期:2024-10-25
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种阶梯式透明柔性集成电路基板的厚度均匀性检测方法,涉及厚度检测技术领域,包括:步骤1:通过预设抽样方法对同一生产批次下的基板进行选取,得到抽样基板;步骤2:基于预设检测设备对所述抽样基板进行厚度检测,得到初始厚度检测数据;步骤3:对所述初始厚度检测数据进行预处理,并进行数据核验得到待处理数据;步骤4:结合在方法数据库中选取的预设分析方法对所述待处理数据进行分析,并对所有所述抽样基板对应的分析结果进行共识得到批次‑厚度分析结果。本发明可以精确获取柔性基板的厚度数据,提升透明柔性基板的厚度均匀性的计算精度,从而保证基板的产品质量。
技术关键词
厚度均匀性检测方法 柔性集成电路基板 分析方法 抽样方法 数据 曲面 阶梯式 基板结构 三维模型 检测设备 分层 柔性基板 厚度检测技术 坐标点 叠加结构 测量误差 层级 计算方法
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