一种异形玻璃基板镀膜厚度在线监测方法

本发明涉及射线厚度测量技术领域，具体涉及一种异形玻璃基板镀膜厚度在线监测方法。该方法通过异形玻璃镀膜样本上扫描点在局部范围的双掠入射角和镀膜厚度的偏差情况，得到镀膜区域紊乱影响；确定扫描点的邻近等厚点，通过扫描点与邻近等厚点在双掠入射角分布和边界分布上的特征，得到异形表面复杂影响；根据扫描点的镀膜区域紊乱影响和异形表面复杂影响，结合扫描点的位置分布得到异形矫正程度，进而确定映射关系进行镀膜厚度监测。本发明考虑扫描点受到区域影响和异形玻璃基板镀膜影响情况，得到更优质的矫正系数，使双掠入射角与镀膜厚度的映射关系能够更准确的被获取，进而实现较为准确的异形玻璃基板镀膜厚度的在线检测。