一种适用于低放大倍率的AOI自动对焦系统及方法

本发明公开了一种适用于低放大倍率的AOI自动对焦系统及方法，系统包括入射照明光路、反射收集光路；入射照明光路包括沿光源出射方向依次设置的准直透镜、第一聚焦透镜、视场光阑、光栅掩膜、投影透镜、第一分光镜和聚焦物镜；反射收集光路包括聚焦物镜、第一分光镜、第二分光镜、第二聚焦透镜、第一相机、第三聚焦透镜、第二相机，第二分光镜位于第一分光镜反射光输出端；第二聚焦透镜、第一相机沿着第二分光镜反射光输出端依次排列；第三聚焦透镜、第二相机沿着第二分光镜出射光输出端依次排列。本发明光路结构简单，易于集成，对光路器件以及相机要求不高，成本低，适用于长周期高度变化环境以及低倍率放大工况。