一种匀胶显影机中显影液效力快速检测方法

本申请涉及图像处理技术领域，具体涉及一种匀胶显影机中显影液效力快速检测方法，该方法包括：采集各次显影后晶圆表面的晶圆表面图像，获得第一检测三维体素化模型和标准体素化模型；将第一检测三维体素化模型中的所有体素块投影到晶圆表面所在平面，获得各投影体素块；根据各投影体素块在第一检测三维体素化模型中对应体素块的三维坐标，获得各投影体素块的深度信息显著度；根据投影体素块在标准体素化模型中对应的体素块的三维坐标和深度信息显著度，获得晶圆表面沟道深度差；采集各次显影的显影持续时间，结合晶圆表面沟道深度差获得样本数据集；根据样本数据集获得当前显影后的显影液的效力评估结果，提高显影液效力判断的精度。