晶圆高度的测量方法、晶圆整体高度的测量方法、装置

本发明涉及一种晶圆高度的测量方法、晶圆整体高度的测量方法、装置、计算机设备和存储介质，首先，控制点光源向待测固晶板发送出射激光光束，确定其相位信息。激光光束照射到固晶板表面，由于高度差异，激光光束的相位会发生变化。接着，控制传感器接收反射回来的入射激光光束，并确定其相位信息。通过比较出射和入射激光光束的相位信息，计算出相位差，从而得出固晶板在该位置的高度值。该方法有效减少了机械臂运动带来的过冲误差，提高了测量精度和系统稳定性。其具有快速响应速度和高精度，适应不同表面反射率和材质，确保每次测量的高度值准确反映实际情况。此方法提升了制造精度和生产效率，适用于复杂制造环境，具有广泛的应用前景。