氧化镓高温防分解的生长环境调节装置

本发明涉及镓晶体制备技术领域，特别涉及氧化镓高温防分解的生长环境调节装置，包括：分区模块，将氧化镓生长环境进行温区划分，即将用于容纳氧化镓原料坩埚设为第一温区，将容纳氧化镓原料坩埚的上方空间，即氧化镓生长空间划分为第二温区；模型训练模块，将采集的升温特征数据输入到训练好的第一机器学习模型，基于第一机器学习模型生成预测第二温区的温度上升集合；数据分析模块，基于生成的温度上升集合，选取一个降温节点；本发明提供的氧化镓高温防分解的生长环境调节装置，实现了自动智能化地调节第二温区的气氛组分和第二温区内部压力，以实现气氛组分和第二温区内部压力的精确控制，进一步抑制氧化镓晶体的分解和挥发。