一种图像质量提升方法、装置、设备及介质

本发明公开了一种图像质量提升方法、装置、设备及介质，以解决现有技术无法提高图像质量的提升精度，导致在处理真实晶圆图像数据时提升的效果不理想问题。该方法包括：通过获取目标晶圆的低质量图像和高质量图像，对高质量图像分别进行退化处理和插值处理，生成第一合成低质量图像和第二合成低质量图像，计算第一合成低质量图像和第二合成低质量图像之间的高频分量，将高频分量输入基于生成对抗网络的图像质量提升模型中，进行迭代训练，直至训练出的图像质量提升模型满足预期性能，得出目标图像质量提升模型，以使目标图像质量提升模型对目标低质量图像进行图像质量提升。