摘要
本发明属于显示领域,公开一种基于钙钛矿材料的全彩Micro‑LED芯片阵列及其制备方法,包括多个颜色的钙钛矿Micro‑LED芯片,每个颜色钙钛矿Micro‑LED芯片包括功能层和电极,所述的功能层包括Micro‑LED底部传输层、Micro‑LED活性层和Micro‑LED顶部传输层,在单色钙钛矿Micro‑LED活性层上通过卤素阴离子交换的方法获得其它颜色的钙钛矿Micro‑LED活性层。本发明全彩钙钛矿Micro‑LED可以通过衬底图案化直接制备满足分辨率的显示屏幕,相对于基于巨量转移制备的Micro‑LED芯片阵列,其制备成本低,易于实现钙钛矿Micro‑LED芯片阵列的高通量生产。
技术关键词
LED芯片阵列
钙钛矿材料
阴离子交换材料
LED阵列
光刻胶显影
卤素阴离子
钙钛矿衍生物
钙钛矿前驱体溶液
电子束
空穴传输层
二价金属阳离子
衬底图案化
颜色
金属电极
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