摘要
本发明公开了一种降低塑封厚度的封装方法,属于半导体集成电路封装测试领域,本方法在蚀刻框架设计和制造阶段,在芯片框架上蚀刻出略大于芯片尺寸的凹槽,将芯片贴装到凹槽内部,随后进行打线、塑封等流程,完成芯片的封装;这样,在不进一步降低晶圆减薄厚度的前提下,由于凹槽的设计,使得芯片一部分下陷至凹槽内,从而减小了露出芯片框架平面的厚度,进而满足了超薄封装加工要求;采用本方法能够在不降低晶圆减薄厚度的情况下,完成超薄QFN/DFN的封装加工,避免了由于芯片厚度非常薄导致发生裂片的风险;本方法原理简单,便于实施,产品合格率高,具有良好的推广应用价值。
技术关键词
封装方法
芯片
半导体集成电路封装测试
UV照射机
框架
凹槽
UV保护膜
导电胶
粘片机
打线机
减薄机
蚀刻
划片机
塑封机
贴膜机
正面
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