自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法

本发明公开了一种自动化ESD保护器件版图设计与版图驱动的模拟仿真方法。根据器件特性通过Skill Script语言编译参数化的ESD保护器件单元版图；器件版图作为光刻光罩定义器件几何结构，结合半导体工艺制备的工艺参数模拟三维器件，完成前道工艺（Front‑End of Line，FEoL）的器件提取；通过布线电容参数提取方法将（Back‑End of Line，BEoL）的金属层布线提取成电容模型或电容矩阵。完成准备工作后，将器件层与金属互连线层模型以Mix‑Mode仿真方法模拟，进一步指导设计性能优异的ESD保护器件。通过本发明的方法，可以自动化设计ESD保护器件，并实现对模型的精确提取与仿真，大幅降低了ESD保护器件开发中的设计优化复杂性，显著缩短开发周期。