一种谐振器及自适应调谐方法

本发明公开了一种谐振器及自适应调谐方法，包括：衬底，设置于衬底上的谐振区，环绕谐振区设置的边缘区，以及控制模块；谐振区包括：依次层叠设置的空气凹槽、下电极、压电薄膜层和上电极；边缘区包括：设置于衬底上表面的支撑部，以及设置于支撑部上的反射部；支撑部至少部分与压电薄膜层边缘重叠；反射部的上端高于上电极，且反射部与上电极相邻的一侧设计为凸起的弧形结构。本发明通过划分边缘区和谐振区，并结合控制模块以调控谐振区的振动行为，使得谐振器在工作时能够更集中地利用能量，减少横波的外泄，提高了品质因数，全面优化了谐振器的性能表现。