用于晶圆测试的路径生成方法及其装置、电子设备和可读存储介质

本申请公开了一种用于晶圆测试的路径生成方法及其装置、电子设备和可读存储介质，方法包括：获取晶圆图和探针卡的探针分布情况；根据晶圆图生成初始遍历路径，初始遍历路径覆盖晶圆图中的所有芯片；根据初始遍历路径进行遍历模拟，得到待测试芯片分布图，待测试芯片分布图用于表征所有芯片中待测试芯片在所述晶圆图中的位置；根据探针分布情况将待测试芯片分布图划分为多个芯片分布子图，每个芯片分布子图中的所有待测试芯片可被探针卡覆盖；确定每个芯片分布子图中位于中心的芯片所在位置为芯片分布子图对应的目标位置；生成探针卡的目标移动路径，目标移动路径为连接每个芯片分布子图对应的目标位置的路径。本申请有利于提高晶圆测试效率。